686章 光刻机
“东西买回，怎受限制，赤果果帝主义。”杭雨听睿思职员介绍，禁感丝愠怒，荷兰嚣张。
等，外买台洗衣机回，明明什衣服洗，它硬性规定洗产品牌衣服，洗外品牌衣服。
果套设备完主研，并且工艺达世界先进水平，即便主设计芯片，完量产，请别帮忙。
睿思光刻机工艺太落，目测赶世界先进水平，等十八。十八难盈利，停投钱，儿集团做。
实，杭雨投资睿思科技犹豫久，因公司负担。果江燕公司做别，投资睿思，算什。
问题江燕投资其很产品，短期见效，长期见效。
“外什候跟讲理，摆脱局，靠。”陆建川，睿思技术员，带领杭雨解公司。
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“产少NM光刻机？”杭雨问。
“200。”陆建川太思，回答很简短。
杭雨再追问，200纳米离世界先进水平差太远，45纳米。且杭雨知，荷兰很快数据缩减20，简直怕。
“研制光刻机需资金太，虽江燕公司参与，捉襟见肘，很研究工保障，希望杭先加支持力度。”陆建川。
“，每五亿投资，公司造负担。”杭雨。
“据知，贵公司每收益百亿计算，每投资几亿，工极帮助。光刻机精度再提高两层次，实盈利。”陆建川。
“简单，假百块钱，花几块花几块，买几东西。何况兜存点钱，备需，资金其实很紧张。”杭雨。
比喻很简单形象，陆建川听，便再提件。
每五亿够，头，杭雨投资点钱算锦添花。杭雨觉少点，：“果公司效益，酌考虑建议。”
陆建川露笑容：“感谢杭先支持。”
杭雨突觉挺搞笑，明明钱，却觉够。
“给讲光刻机技术关键吗？”杭雨虽懂技术，科技却很感兴趣。
“，杭先嫌讲繁琐。”陆建川掂量，怎讲才满足杭雨奇，太专业肯定。
“。”杭雨。
“光刻机芯片制造核设备，按照途分几。产芯片光刻机，封装光刻机；LED制造领域投影光刻机。”陆建川介绍。
产芯片光刻机半导体设备制造短板，内晶圆厂需高端光刻机完全依赖进口，且使限制。
“光刻机组部分很，分别承载硅片测量台曝光台，激光器光源，光刻机核设备。光束矫正器，矫正光束入射方向，让激光束尽量平。量控制器，控制终照射硅片量，曝光足或足严重影响像质量。”陆建川。
光束形状设置，设置光束圆型、环型等形状，光束状态光特性。
遮光器，需曝光候，阻止光束照射硅片。
量探测器，检测光束终入射量否符合曝光求，并反馈给量控制器进调整。
掩模版，块内部刻线路设计图玻璃板，贵数十万元。掩膜台，承载掩模版运设备，运控制精度纳米级。
物镜，补偿光误差，并将线路图等比例缩。
硅片，硅晶制圆片。硅片尺寸，尺寸越，产率越高。由硅片圆，需硅片剪缺口确认硅片坐标系，根据缺口形状分两，分别叫flat、 notch。
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“加工芯片程，光刻机通系列光源量、形状控制段，将光束透射画线路图掩模，经物镜补偿各光误差，将线路图比例缩映射硅片，使化方法显影，刻硅片电路图。”
“般光刻工艺经历硅片表清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、准曝光、烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经次光刻芯片继续涂胶、曝光。越复杂芯片，线路图层数越，需更精密曝光控制程。”
陆建川已经尽量简单方式介绍，讲，杭雨间难消化。更加深刻感受，光刻机研难度。
原知设备很难做，概念模糊，知组。
“尖端设备越越复杂，象，将需尖端技术员，呈倍数增长。口红利快，感觉，永远处。”杭雨突感。
“目口素质，口红利确越越。接挥数优势，教育效果，希望代整体素质提高。”陆建川。
随科技展，越高端产品，体系求越越高，庞。
举简单例，将宇宙飞船，玩该，复杂？足够口，足够研究员怎做，别。
估计口数量，很难做程度。