447章 门突被敲响
,白老突什,紧接问:
“计划先马实。既徐佑今与SPY先交流技术问题,证明脑,受损严重。等再阵,确定消息,再实施计划迟。”
“,先。根据实验结果,病变逆,且直朝继续恶化方向展。SPY先继续提供信息。果徐佑连SPY先见话,真明,已经思考力。”
“嗯,准备万全。除徐佑外,观察身边表,特别朋友。”
“明白,持续关注。”
……
算经量实验室。
徐佑正利线脑机功,与算经量计算机,构连接通。
黄思白回,加入伏龙科技始,已经公司贡献十余项EUV光刻机相关技术。
技术,包括EUV光刻机激光光源、工台、镜头等等方,每项果,实打实关键技术,产EUV光刻机,非常重进展。
,因台光刻机涉及元件实太,且需诸产业链企业共配合,才量产。
短间内,法马做台真正EUV光刻机。
身领域科研专徐佑,明白理。
果,够让算经工智掌握知识,局势完全。
通线脑机功,徐佑将知识全部传输给算经,并让算经理解光刻机义。
况,徐佑继续启脑彷真模拟技,利算经强算力,脑海断模拟光刻机运转程,各元件细节进优化。
此,台光刻机万元件,徐佑脑清晰见。
“黄思白跟讲技术,确实问题。”
通严谨模拟,徐佑确定黄思白技术真实性。
取徐佑信任,黄思白并徐佑任何隐瞒,解东西,五十给徐佑。
黄思白讲述,徐佑够听,技术并真正由黄思白研,更像黄思白某渠。
徐佑,信息已经足够。
深度思考,徐佑根据黄思白提供信息,反推更信息。
经断模拟、计算、推演,徐佑距离整套完善EUV光刻机技术,已经越越近。
包括硅片表清洗烘干、涂底、旋转光刻胶、软烘、准曝光、烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等等工序,断徐佑脑海重演。
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知经历少次推演,徐佑根据脑模拟EUV光刻机,功产合格高精度芯片。
“……EUV光源技术,很解决。”
EUV光刻机,EUV光源疑核设备。
让光刻机高效工,需足够亮EUV光源才。
EUV光源方,黄思白提供技术,并彻底解决问题。
“等……极紫外辐射光谱,似乎继续优化空间!”
,徐佑突注。
正常激光佳聚焦位置,入射激光量等离体间缺乏效耦合。
其原因,因佳聚焦位置处,聚焦光斑尺寸较,激光聚焦锥角较,等离体吸收量局限轴附近,影响等离体激光量吸收。
换句话,谓“激光佳聚焦位置”,很并EUV光谱强度强位置。
“果调整聚焦光斑尺寸……况。”
按照徐佑理论,聚焦光斑尺寸略微增,激光聚焦锥角跟增。
,激光量效分布整等离体沿,等离体效吸收激光量,减少量损失。
,聚焦光斑尺寸增,否则话,适其反效果。
,虽徐佑推论,仅仅依靠算力,很难限间内,找佳聚焦光斑尺寸。
,徐佑依靠算经强算力,提高计算速度。
经次计算,徐佑算找EUV光谱强度强位置。
更换新EUV光源装置,徐佑重新进光刻机工流程推演。
正徐佑料,光源亮度增加,光刻机工效率,跟提高少。
“果够按照效率工,台EUV光刻机,真投入使!”
确定光刻机设计方桉,徐佑仍需结各部件具体工艺。
因,制造像光刻机,此精密仪器。
仅仅依靠设计图,远远够。
果具体工艺,即使拿设计图,并代表光刻机整制造。
徐佑顾休息,继续算经,进接工。
……
徐佑实验室,林诗正焦急向崔颖询问什。
“崔老师,徐老师今怎实验室?需需啊?”
“必,徐老师近劳累,需休整段间,暂先实验室。林诗,算徐老师,做带头,继续几项目研究工。”
“,崔老师,知。”
林诗隐约担徐佑,既崔颖,林诗再问什。
徐佑候,林诗更应该挑梁,继续徐佑未完科研项目。
正,实验室门突被敲响。