447章 门突被敲响

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,白,紧接

计划先。既徐佑今与SPY先交流技术问题,证明脑,受损严重。等再确定消息,再实施计划迟。”

,先。根据实验结果,病变,且直朝继续恶化方向展。SPY先继续提供信息。果徐佑连SPY先话,明,已经思考。”

“嗯,准备万全。除徐佑外,观察身边,特别朋友。”

“明白,持续关注。”

……

算经量实验室。

徐佑正利线脑机,与算经量计算机,构连接通

黄思白回,加入伏龙科技始,已经公司贡献十余项EUV光刻机相关技术。

技术,包括EUV光刻机激光光源、工台、镜头等等方,每果,实打实关键技术,产EUV光刻机非常重进展。

,因台光刻机涉及元件实,且需产业链企业共配合,才量产。

间内,法马台真正EUV光刻机。

领域科研专徐佑,明白理。

够让算经工智掌握知识,局势完全

线脑机,徐佑将知识全部传输给算经,并让算经理解光刻机义。

,徐佑继续脑彷真模拟,利算经算力,脑海断模拟光刻机运转程,元件细节进优化。

台光刻机元件,徐佑清晰见。

“黄思白跟技术,确实问题。”

严谨模拟,徐佑确定黄思白技术真实性。

徐佑信任,黄思白并徐佑任何隐瞒,东西,徐佑。

黄思白讲述,徐佑够听技术并真正由黄思白,更像黄思白

徐佑信息已经足够

深度思考,徐佑根据黄思白提供信息,反推信息。

模拟、计算、推演,徐佑距离整套完善EUV光刻机技术,已经越越近

包括硅片清洗烘干、涂底、旋转光刻胶、软烘、准曝光、烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等等工序,徐佑脑海重演

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知经历少次推演,徐佑根据模拟EUV光刻机,合格高精度芯片。

……EUV光源技术,解决。”

EUV光刻机,EUV光源设备。

让光刻机高效,需足够亮EUV光源才

EUV光源方,黄思白提供技术,彻底解决问题。

“等……极紫外辐射光谱,似乎继续优化空间!”

,徐佑突

正常激光佳聚焦位置,入射激光等离间缺乏耦合。

原因,佳聚焦位置处,聚焦光斑尺寸较,激光聚焦锥角,等离体吸收局限轴附近,影响等离激光吸收。

换句话“激光佳聚焦位置”,很EUV光谱强度位置。

果调整聚焦光斑尺寸……。”

按照徐佑理论,聚焦光斑尺寸略微增,激光聚焦锥角

,激光分布等离沿,等离吸收激光量,减少损失。

,聚焦光斑尺寸,否则话,其反效果

,虽徐佑推论,仅仅依靠算力,很难间内,找聚焦光斑尺寸

,徐佑依靠算经强算力,提高计算速度。

计算,徐佑算找EUV光谱强度位置。

更换EUV光源装置,徐佑重新进光刻机工流程推演。

徐佑光源亮度增加,光刻机效率,提高少。

够按照效率台EUV光刻机,投入使!”

确定光刻机设计方桉,徐佑仍需部件具体工艺。

制造像光刻机此精密仪器。

仅仅依靠设计图,远远

具体工艺,即使拿设计图,代表光刻机整制造

徐佑顾休息,继续算经,进

……

徐佑实验室,林诗正焦急向崔颖询问

“崔老师,徐老师今实验室?需啊?”

,徐老师劳累,需休整间,暂实验室。林诗,算徐老师带头,继续几项目研究工。”

,崔老师,。”

林诗隐约徐佑,崔颖,林诗再问什

徐佑候,林诗更应该挑梁,继续徐佑未完科研项目。

,实验室门突被敲响。

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