二百三十八章 舌战群儒
老口：“各位尊敬科，午，间很宝贵，长话短，简单谈谈本场议目。”
“近，直往半导体产业链进展，今定丰硕果，段间，林晓先主导，先技术实突破，特别硅晶圆产技术重突破，达世界流程度。”
，朝林晓点点头，随继续：“半导体技术研究重重，未需技术实更创新。”
“，谈谈法，谈谈各方技术哪新突破，讨论接应该往哪方向展。”
随老话完，场便始议论。
半晌，华芯际专举，：“近期，芯片产工艺实次关键性突破，距离12nm制程近步，方需更研投入。”
“认，产工艺加投入，毕竟造光刻机仍遥遥期，先办法怎将DUV光刻机钻研极限。”
话，其愿。
比电科集团、常春光机、魔微电，三接研光刻机任务，华芯际提倡力搞产工艺，愿。
三公司立马表示反。
“搞搞？咱因搞东西损失少。”
“搞产工艺，见搞定少啊？台积电别14nm，12nm、10nm工艺，求跟7nm，歹至落代吧？”
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……
双方话很客气，，直接始吵。
，毕竟场合，吵指责方技术展问题。
吵候，表示：“觉，应该材料再点功夫？”
场少产材料，听提点，顿纷纷附。
“，材料应该需重展！”
议室再次声音。
半导体产业链，每环紧密相连，每环间较技术壁垒。
争论候，忽拍拍，众，正马局长。
位科技局局长，座保持尊敬态度，乎安静，等待话。
马高亮则笑笑，：“很理，知，咱跟外，各环节相差甚远，咱硅晶圆产世界流位。”
“，咱先听听林教授法？”
听，场专安静。
管何，光凭林晓近，值认真待。
将目光向坐林晓。
林晓突轮讲话感外，，早准备分享法，丝毫急。
身体坐，先朝右边老微微笑，重新转头向场，随：“法，两抓，两硬。”
“，句话整产业链，整条产业链，抓牢。”
场顿愣，
林晓思？
觉方向展？
场由摇摇头，林晓什让眼亮法呢，结果，明显谁罪，保持庸态度。
，林晓真打算吗？
完句话，站。
“半导体业完整产业链，产业链每部分占据十分重，既特殊体制，形盘棋进，，觉应该组半导体产业联盟，集调配各方资源，更展整产业。”
“，硅晶圆产已经完突破，，因编码器八分结构，精密加工技术次突破，剩，继续更加深入挖掘。”
“，首先光刻机光镜片产技术何实突破，进简单讲述。”
，林晓朝罗刚宪微微笑，罗刚宪却愣，林晓光镜片？
林晓：“何让光镜片更加精密，非将镜片表凸粒给弄走。”
“够利激光干涉仪，找凸粒，接针凸粒凸量，离束轰击凸粒，将镜片给‘敲’平。”
“，镜片变比平整。”
听林晓法，罗刚宪便忍住：“……应该做吧？激光干涉仪表粗糙度数据，进统计，法具体判断怎离束轰击啊！且，硅原半径经100皮米，直径等两百皮米，需100皮米级别，果离轰击，直接表原给轰击掉，留百皮米坑，达光刻机镜片求！”
林晓确实很方法，理论，专业，完全相信点够做。
林晓笑笑，：“凸粒给轰掉啊，罗院士。”
“‘敲平’！”
“需算轰击角，控制住水平垂直分力，完全实其表平坦化。”
“且，谓原半径，其实原轨半径已，受力范围，它球，离束轰击，间电磁力罢。”
“离抛光技术，使氩等离体，轰击候，考虑其电荷量，够实。”
听，罗刚宪顿感思议，话，似乎真？
经片刻思考，微微摇头：“做吧，数法实！怎计算轰击角？”
林晓却笑：“数问题已，怕数问题。”
“……”
罗刚宪话语滞。
数问题？
已？
知怎，林晓，却找继续质疑理由。
似乎，真做？
果够计算离束轰击角，似乎确实完全将粒给“敲”进？
其实，类似离抛光技术，相比较比较常见离抛光技术，技术精细度求高点点。
解决问题，重数问题？
，已经走椭圆桌另外边林晓，站：“林教授，服，合吧。”
林晓笑笑，：“，……”
眼场，：“各位，刚才，立联盟，，合。”
“技术遇问题，找合研究。”
听，场顿瞪。
林晓话，打算背代表机构企业拉？
甚至，技术遇问题，找合？
虽林晓解决CMP材料技术，硅晶圆提纯技术，甚至编码器精度实重突破，完全称全性才。
场业，林晓何做全？
立马表示反：“林教授，提议很错，知极紫外光光源问题何解决吗？问问题。”
林晓笑：“极紫外光光源，非准分激光照射锡靶材，退激产极紫外光，做提高其功率。”
“点，需控制锡靶材准分激光功率，实锡靶材够更接受准分激光照射率，够实更强退激效应。”
“关何实锡靶材更高接受照射率，点需数计算实验验证，数方问题，问题，合，机实突破。”
“另外，EUV光采集效率，点，够实刚才镜片更精密加工，采集效率完全再次增，进提高功率。”
听林晓回答，反哑口言，因居被林晓。
果真够林晓合话，问题真够解决？
候，提问：“林教授，光路系统呢？”
林晓再次笑：“光路系统，首先精密控制领域需突破，相信，已经机。”
“接数问题，相信，涉及数问题，问题。”
场知什。
数问题？
问题，除材料问题、精密加工问题，剩数问题吗？
许知再怎问。
，研究材料话：“光刻胶呢？”
林晓：“CMP抛光材料，花两月间给解决，其材料虽敢保证，定运气，解决呢？”
“啊……”
“林教授，……”
……
林晓进回答，将服。
舌战群儒般。
立联盟法，早。
今，半导体，让荣誉提件。
今场议，正给提法机。
，场话语，脸露表。
似乎被服。
见幕，林晓宋目光认真：“抢各位东西，觉必建立联盟，更调资源。”
“朋友，距离外差距，合更加应该。”
“，希望争论。”
“，请相信，信。”
议室安静片刻。
光电长，罗刚宪院士：“。”
头，原本摇摆定其，纷纷：“。”
“。”
件，利益影响，嫌麻烦，认加入什义。
，林晓已服。
见居真，马高亮忍住向林晓，目光佩服。
够服，恐怕林晓力。
位直话老，林晓目光许欣赏。
，：“很，各位够实合，很高兴，，见证者，联盟名吧。”
听老话，林晓笑：“。”
老笑：“叫华芯盟，简单直接点。”
“另外，林教授，果什需，联系高亮，让全力配合。”
“！”
林晓重重点头。
……