452章：光刻机
进入研究院车间。
复杂程度亚西取经。
防护服穿。
风吹，将身尘埃吹掉。
经紫外线照射等等环节。
准备进入，差花。
办法，光刻机室内清洁度求实太高。
光刻机白通系列光源量、形态约束，将光束投射画电路图掩膜。
再经光补偿，将电路图比例缩投射硅晶片，通化方法显影，刻硅晶片电路图。
此，光刻机工重光。
光哪传播呢？空气。
什光刻机工环境求非常高洁净度。
哪怕点灰尘，将产芯片直接报废。
91，光刻机精密度高。
台阿斯麦机器，远远达世7纳米，甚至5纳米。
，车间求非常高，搞搞。
等世坏菜。
光刻机精密度提高，环境求更加苛刻变态。
际通标准，术室求环境ISO5级。
常接触干净环境。
，芯片产因特别精细。
极其微杂质影响产品质量。
，世，产芯片车间竟求ISO1级或者ISO2级高水平！
每立方米空气，超0.1UM杂质，超100粒。
什概念？
打比方：果西湖装满纯净水，往撒盐，它合格！
很恐怖求！
简直让法象，高求，靠工打扫肯定。
类每分钟掉900块死皮。
450细菌。
滴滴汗，报废批芯片！
注批！！
，芯片厂化求特别高，反累赘。
机器方。
厂房需间断吹风。
边吹边滤，确保完全尘。
吹风滤机器，叫风机滤机组。
机组，老岛才产。
武长风让霍齐往岛购买空气净化设备缘由。
连滤滤纸，世产够替代。
芯片产流程，类似细节很。
仅仅环境求，更注项，简直让头皮麻。
进入车间。
霍齐陪武长风身边，边介绍，边：“启玩，咱花少间，间反值钱。”
“花钱购买各原材料。”
武长风点点头：“急，慢慢，知，买，高光刻。”
霍齐点懵逼，啥思？
买？
让霍齐法理解。
，老板武长风，切问题解决。
老板创造奇迹。
随，霍齐展专业，扎实基本功。
指光刻机部件介绍：
“老板，半设备，准通电轴根据CCD进定位调谐。”
“紫外光源，曝光系统核部件。”
“准系统，采全气轴承设计专利技术，效避免轴承机械摩擦带工艺误差。”
“工件台，顾名思义放工件平台，光刻工艺主工件掩模基片。”
“工件台光刻机关键，由掩模片整体运台（XY）、掩模片相运台（XY）、转台、片调平机构、片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组。
“其，片调平机构包括球座半球。调平程首先球座半球通压力空气，再通调焦轮，使球座、半球、片向运，使片与掩模相靠找平片，二位三通电磁阀将球座半球切换真空进锁紧保持调平状态。”
“片调焦机构由调焦轮、杠杆机构升直线导轨等组，调平升程初步调焦，调平完锁紧球气浮，片掩模间产定间隙，因此必须进微调焦。”
“另方，调平完进准，必须分离定准间隙，需进微调焦。”
“抽拉掩模台主快速片，由燕尾导轨、定位挡块锁紧轮组。”
霍齐整整介绍。
武长风听直迷糊。
其实，懂，甚至霍齐专业。
光刻机往趣，比霍齐知。
武长风问：“试产吗？”
霍齐点点头：“试，效果很，合格率五，知操失误，机器问题。”
“接触间太短，找具体原因。，相信，随继续研究，定找具体原因。”
武长风宽慰：“知，已经走陆列，世界并轨。”
“求，钱给钱，给。”
“期望，跟世界脚步，别被甩。”
霍齐沉默：“老板，光刻机高端方实太，比晶圆，白脱氧沙，氧步骤很难搞。”
“光刻胶，怕投入几百定研究。”
“类似，很东西。”
“产芯片，致分设备、材料、设计等游环节、游晶圆制造，及游封装测试等三主环节。”
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“，问老板，咱全部跟进，……”
武长风听，低头沉思很久。
全部跟进，选择其二项目进研。
让启明星挤进产业链，或缺部分。
其实产芯片程分：原料晶圆→晶圆涂膜→晶圆光刻显影→蚀刻→搀加杂质→晶圆测试→封装→测试、包装。
似简单，需东西实太。
根本区或全部完。
本质原因，除光刻机展阶段，足够重视外，陆技术。
代芯片加工产，本类复杂，精密科技结晶。
全球化期，全世界通力协果。
某搞定。
世芯片，由老设计，岛原材料，棒岸艺，德荷兰设备。
让任何，包括老完全靠内产，造芯片。
陆世，部分工艺，已经摸梯队，比刻蚀机，它光刻机重。
老完全封锁陆，因陆刻蚀机，已经达5NM级别，封锁白搭。
设计，封装测试等等环节，世陆早已经批全球顶尖高。
产链条实太长。
工厂规模，补课太。
数据：西门，立1847，爱立信立1890，卡尔蔡司立1890，飞利浦1891。
，朝代始营业。
启明星立1990。
再老，20内，投入9000亿元。
世陆，期加二期加才500元。
追世步，已经很错。
芯片制造，其工艺艰难卓绝，众科技领域内，险峻座山。
武长风咬咬牙，并立刻回答霍齐问题。
欣赏光刻机产程。
名翼翼操。
虽疏，信十足，并合格率低气馁。
参观。
武长风嘱咐几句，直接离车间。
脱防尘服，武长风松口气。
霍齐办公室。
武长风坐沙喝茶水。
武长风望窗外，两话。
霍齐等待指令，全跟进光刻机工艺流程，单独切入领域。
霍齐希望全跟进。
代眼，，才。
任何环节被外掌控，非常难受。
霍齐知，果全部跟进，研究院扩几倍止。
单单趟岛知，空气滤机组公司，很。
仅仅其环节啊！
武长风早决断。
全跟进。
玩。
知，芯片，带游万亿元产值。
吃东西。
尽管跟光刻机展阶段。
产业链实太长。
超乎象，复杂比。
，武长风，两法。