百三十二章:减薄厚度150um

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“咱车间!”新项目,辛佟丝毫马虎。

工程监Peter议室滔滔绝谈论理,辛佟觉项目做靠细节。

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细节决定败!

!”姜华将香烟熄灭,扔进烟灰缸,甩头茂盛

吸烟区回,两径直FOL产车间晶圆减薄业区,封测工厂工序。

Fab厂晶圆,通体泛射银光,圆镜般,照射

通常,晶圆太厚并芯片散热,产品靠性通常与热应力直接相关,减薄晶圆提升芯片靠性。

正因容易产热量功率器件芯片,工程技术追求极致薄。

封测厂接收晶圆,其厚度超标,厚度太薄话,随便震运输安全,因此减薄封测工厂产工序。

辛佟走进独立洁净室,静悄悄像世外桃源般。

减薄洁净室积差键合车间二十分,整晶圆减薄研磨纯水,并耳闻噪音。

相比键合车间ASM键合机,本DISCO减薄机体型几倍,显更加气磅礴。

体型高减薄机旁边摆放排氮气柜,氮气柜温湿度监控装置,氮气流量监控装置,高纯度氮气养护,储存已经减薄完晶圆损。

支。

通常Fab厂晶圆真空包装避免焊盘受潮气氧化,经验讲,晶圆Floor Life间,超周,焊盘存氧化风险,键合质量打折扣,储存氮气柜延长晶圆使间。

FOL工程部已经工,辛佟却极少洁净室,提拔项目经理,接触全工厂产工序。

梦寐

姜华常边,提升FOL产主管少,晶圆减薄键合,工序划归给管辖。

工序工程技术由贵FOL四增长王谢剑风负责。

“辛经理!”谢剑风朝辛佟点点头。

减薄工序做目视化管理工见辛佟走,主招呼。

“谢工,咱设备工艺少?”辛佟门见山

解工序设备力,才知彼,百战百胜。

“辛经理,8寸晶圆厚度725um,目Disco减薄机减薄厚度180um。”谢剑风设备工艺指掌。

180um?辛佟MPC5200工艺求,客户减薄厚度150um。

“摩托罗拉项目规格150um!周客户指定晶圆,咱讨论方桉!”辛佟难色

车间走走,解设备实际工艺力,仓促话,项目很惨!

“谢工,果Disco设备做话,项目!”姜华担忧。

新项目败主工艺!

“姜主管,悲观,工程部办法提升减薄设备!”谢剑风边拍姜华肩膀。

180um旧产品技术求,设备并150um晶圆,熘熘才知

“谢工,目减薄机性稳定哪几台?”辛佟问

利剑销方斩妖。薄,靠工厂机台!

“3号减薄机台!”谢剑风,指身边台设备回答

项目晶圆,锁定3号机台产!”辛佟3号减薄机,眼睛充满

!”姜华

“谢谢!”辛佟

指定专机产,工艺验证,辛佟觉宜早宜迟。

“谢工,今仓库假片先做DOE验证!150um,客户晶圆毕竟数量限,直接客户晶圆做DOE验证,万验证失败办?让客户重新晶圆吗?项目周期至少月。”辛佟脸布满阴云。

锁定性稳定机台设备,提安排假片验证,辛佟觉降低项目风险。

很显基层Peter此毫认知。

“辛经理,!”谢剑风点点头。

安排,辛佟感觉浑身轻松

“谢工,姜主管,装片工序吧!”辛佟

!”谢剑风点点头。

减薄洁净室,朝装片区域走

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