189章 令震惊性
消息疑场晴霹雳,陈长震神恍忽,随露敢置信神色。
吧,虽燧科技布通其蜂巢复眼镜头技术制极紫外光源,。
加花牵线,长光机电答应燧科技合,指望燧快够造。
才几月?
极紫外光源造?
挂吧?
坐火箭速度快!
“消息千真万确?”
“比珍珠真。”
“......”
挂断电话,陈长沉默,澹定。
直接唤助理,“李,赶紧给订近半凤城机票,燧科技!切记!定快!”
“!
马订票!”
助理被陈长幅饥似渴神态吓住,平长澹定蔼,今却此急激。
,便赶紧订购机票。
长非吃。
......
另边
离比较近花副陪任老爷燧科技重明鸟光技术研实验室。
燧科技合伙伴与盟友,张云间收许黎消息,并将件告诉喝茶养任老,马停蹄赶。
“许先,EUV光源真功吗?让吗?”
任老急耐。
“,请。”
许黎点点头,随便带几进实验室。
极紫外光源仿佛绝宝藏眼熠熠辉。
“性怎?”
任老问句。
“根据反复实验,其终实际CE值45%,输功率220w。”
般衡量EUV光源性主两指标:转换效率(m附近2%带宽内输量占输入量百分比;及输功率,即间聚点(IF)处测功率。
“CE值45%?!确定?”
旁张云惊疑声。
虽花管理层,理工身,加习,与俱进,知数值义。
知极紫外光刻机光电转换效率仅仅0.02~0.05%左右。
因极紫外光够被绝部分材料吸收,必须消耗电力整环境抽真空。
另外,极紫外光被透镜吸收。
因此,将极紫外光集靠反射。硅与钼制镀膜反射镜,集极紫外光。极紫外光每被反射次,量损失三。极紫外光光源,经十几次反射,达晶圆候,剩2%光线。
高功率极紫外光,需极激光器。激光器工产很热量,需套优良散热冷却系统,才保证机器正常工,需消耗量电力。
据悉,目AMSL公司极紫外光刻机输功率250w,达输功率,需0.125万千瓦电力输入才维持,相消耗3三万度电.
,EUV光刻机吞电巨兽啊!恐怖斯!
电让夏伙伴几月空调,即使空调,够几庭电。
,即使算造极紫外光刻机,其恐怖耗电量让钱包缩水圈。
听什?
45%转换效率?
连ASML光刻机做转换效率。
安装台顶配光刻机,性将提高,且耗电量恐怖。
果够配合极紫外光源,改造光刻机或许够将芯片制程提升十几纳米。
“真太,或许接被,许先,真让惊喜啊!”
任老笑,次虽布搞极紫外光源,任老即决定燧科技合,希望够借助长光机电科研实力,共改进光刻机,希望够提升14纳米水平。
原等很久,合貌似快实。
“嗯,接让拭目待吧!”
许黎点点头。
任老商量,决定暂将消息放,先压。
等陈长进正式改造光刻机流程,重明鸟边按照设计完善光系统,并送长光机电进光刻机改造。
二,陈长预料。
许黎带研制极紫外光源,按照陈长请求测试。
陈长显示震惊,欣喜若狂。
住紧握许黎双,颤抖:“许先,初进度边快,却让乎料,极紫外光源安装光刻机,等虎添翼。”
虽极紫外光源追ASML5nmEUV光刻机工艺水平,让产光刻机性提高少,疑进步。
,知少内专科研团队耗费脑汁精力,突破实太难。
因光刻机即使西方凑队友才组装,非力短期内简单拼凑。
此力光刻机半导体产业企业进力度优惠力度倾斜政策,并且投少资源进。
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依旧果,其少企业高管骗补贴、玩弄金融弄虚假,新闻屡见鲜。
引内广民群众愤怒,打击内民众科界信。
曙光,或许够给内半导体业乃至全民振信机。
“,许先,需尽快向相关部门汇报并提交相关非核专利,少处。”
陈长提醒。
“懂。”许黎颔首。