187章 极紫外光源进展
光技术研实验室
徐华李默两位负责正极紫外光源技术几问题进讨论。
“李博士，虽复眼镜头加持，靶材、碎屑污染问题啊！”
徐华犯愁。
虽蜂巢复眼镜头技术，某程度解决极紫外光源核镜片问题，仍旧问题存。
众周知，EUV极紫外光刻机关键部件极紫外光源，。
极紫外光源主五关键问题技术需攻破，才正式制造该光源。
其层膜反射镜，由EUV光源量极高，几乎被介质吸收，较高反射率极提高光源性。
经研究，采Mo/Si层膜制备反射镜波长13.5nm、光谱带宽2%内EUV光反射率达70%。
技术许黎拿复眼镜头技术，经番实验攻克。
其二——靶材，降低离碎屑、提高EUV-CE，始逐渐减Sn靶尺寸，并终将液滴Sn靶主研究象。
液滴Sn空稳定性，给光刻机光源设计制造增加难度。
其三其四分别驱光源双脉冲模式，讲解。
碎屑污染问题，激光等离体通激光将入射靶材产高温、高密度等离体并辐射EUV光，其程必产定碎屑（由熔融液滴、微粒团簇、性碎屑原高离组）。
碎屑处理话，损坏光刻机光元件，进影响其性，甚至体健康定影响。
目市售EUV光刻机产品均采将充入惰性气体或氢气外加磁场相结合方案除碎屑，采双脉冲方案除。
两方案皆适设计光源。
需重新商讨设计除碎屑方案。
“怎？愁眉苦脸。”
熟悉声音耳边响。
两转头，原许黎。
才施工场回，近EUV光源项目研究进展，顺。
“校长，正讨论两光源关键难题呢...”
李默解释，将刚才讨论问题概遍。
“嗯，确问题...”
许黎摸巴。
“.....”
许黎提法。
首先，既碎屑污染必定产，论选择哪方案，避免产碎屑，很除碎屑方法基本基本阻挡缓冲。
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何反将其吸收转化，既提高利率，很程度减少碎屑污染问题。
接靶材方话换锡，虽产少碎屑，将吸收转化器做，基本够搞定问题，且加重光源设计难度。
“妙啊！校长，法或许具较性！”
徐华眼睛亮。
“算取巧办法，短期内重新研究新靶材，省很间。”
李默觉法错。
“既此，赶紧试，极紫外光源关键技术很懂，等搭。”
许黎笑笑。
虽科技图书馆获几项科技，极紫外光源深入肯定眼两位深。
等实验候做帮，顺便点东西。
“校长，谦虚，懂，蜂巢复眼镜头。”
“即使懂，相信校长做。”
徐华李默笑，认许黎表示谦虚呢。
“，废话讲，赶紧让准备实验吧，方案否，先碎屑吸转器件给搞再。”
许黎打断。
“！”
，三便始进入紧张繁忙实验研究。
许黎此程少。
比两位科研严谨实验思维态度，及其各操，很清楚半导体领域基础知识。
让获益匪浅。
孔云：“三，必师焉。”
许黎即使外挂，骄傲放纵。
球，深空宇宙，数比强、知识渊博存。
向长者习，促使身进步。
期间，许黎提打电话给母今晚回，参与实验工。
徐华倒先休息，因纪五十，经住熬。
实验室剩许黎李默及几轻助坚挺，其让回休息。
许黎几助研究员眼睛通红，便让先隔壁临休息室睡觉。
几拒绝，毕竟凌晨三点，实点熬住。
“李博士，先睡觉，剩。”
许黎口。
“校长您....”
李默犹豫，确非常困，实验做完，且让老板呆合理。
“，，先休息吧，身体紧，熬夜话身体，边功话，间通知。”
“。”
见许黎此坚持，李默再反，转身离实验室。
见众走，许黎呼唤声。
“黑！”
“校长，！请问什吩咐？”
黑猫脸顿旁边电脑弹。
“帮计算分析......”
设计吸转器，必免进分析计算。
许黎计算，建立数据模型比较慢，叫黑帮忙。
工智计算分析力肯定比较快。
暂将黑暴露给其，支其。
借助黑力量加速极紫外光源研究进展。