四百九十六章 此憾
透镜研功步。
光刻机制造难度极,主拦路虎共四条。
制造精度求极高,台光刻机数万零件,求制造精度少微米级,绝数精密部件求精度达亚微米级,极少数超高精密零部件加工精度需达100纳米~00纳米。
高精度,内加工技术,根本做。
力穷,八级技工工打磨高精度仅达亚微米级,算秉持十磨剑精神,磨精度100微米极高精密零件。
钢铁城,已经问题。实验工厂新研车床、铣床、磨床等系列加工设备,均达高精度百纳米水平,完全达别超高精密零部件加工求。
二高透光度透镜。
三拦路虎,则光刻机部件。
,短波激光光源。
芯片光刻,通工台移,改变光刻聚焦,光刻胶进刻蚀。它运控制部件优劣,直接决定光刻精度,移速度,决定产率,光刻机核系统。
保证佳焦调整,工台移距离必须非常,纳米纳米移。
实际制达精度。
飞利浦新款光刻机例,它移距离实际00纳米。加光源波长,它光刻效果,线宽达三百五十纳米。
其厂商差水平,区别差距。
际先进光刻机制程力。
谓代设备,代产品。
新奔腾66处理器,采50纳米线宽制程工艺。
白云进入实验室,李莲:“边进度怎?”
“非常顺利!”李莲给笑脸。
带领组,负责制造光刻机关键工台系统,其重运部件。
保证运稳定性,移部分普通导轨,空气悬浮导轨。
制造难度,它算太。
非两百纳米加工精度,才鸟枪换炮钢铁城点难度。
它光刻机研制拦路虎,因导轨设计需运非常高深流体力知识,才验算怎设计才将气流工台稳定性影响降低,设计满足工业需产品。
偏偏点,白云构阻碍。
谁让《制造史回顾》!
科研角度,代其像盲旷野摸索。
很才路沟坎、障碍物绊倒,努力分辨方究竟悬崖,崎岖难山路,亦或高攀山峰。
通空气流、潺潺水声,才花费巨代价,找条进路。
即便此,许跟水流、空气,走入死胡,退回点,重新寻找别途径。程,尽与其探路者相互交流信息,告诉别某条路走通,某条路死路,让再尝试。
类文明每进步,艰辛比。
白云。
全图玩,落,四八方路完整认知,绝走错。
决定进速度,寻路程,怎交通工具。
直走正确路,偶尔步入岔路,捡点知谁丢钱。随,钱买辆车,接路骑更快、更轻松,空丽风景。
光刻机制造。
其光刻机巨头,需投入重金,请优秀研员,研设备,潜研究数,途利益跟其交换技术,才艰难步。
白云需。
始,清楚知做什东西,何做。
技术够,需试少次,将东西做。
代其科研员公平。
世界,公平!
落挨打,永世变至理箴言!
白云需顾虑感受,根据目标,坚定走路。
透镜、工台很容易做。
并且根据世设计,工台做巨改,将惯常工台,改双工台。
工台正进光刻工序,另工台则提进晶圆片更换、定位、微调、测量等序工。工台完光刻,两工台换位,立即进光刻工序,极提升光刻效率。
光源部分,唯造。
毕竟汞灯光刻机光源,波长统65纳米,其制造难度并特别。际市场供应商很,全禁止华口难度较,很容易买。
白云省,造,通内,直接购买套。
做幅改进。
将目镜浸入纯净液体方式,光束波长进定幅度折射,达聚焦效果。
世,叫浸入式光源。
各光科技厂商正此技术,进实验室研究阶段,尚未投入实。
既白云完整技术,浸入式光源幅改进光源聚焦,何?
实际使效果很。
采浸入式光源技术,64纳米光束波长被约束1纳米!
比英特尔使50纳米技术,提升近40纳米!
白云亲指导监督,李莲、华新等直接领导,光刻机制造进度快惊,透镜、工台系统、光源等技术难点,被轻松攻克。
经两月技术攻关——其实逐步熟悉制造工艺,台双工位,晶元刻蚀尺寸00mm光刻机顺利建造完,顺利让参与制造技术员感觉做梦。
“做?”
块挡板合,螺丝拧紧,光刻机通电系统测试通,白云宣布光刻机研功,其敢相信实,由窃窃私语。
连料解决技术问题,制系统,再装,两月做台代先进光刻机……
吗?
算内光刻机厂,图纸、熟练工,做台止点间吧。
“咱试试知。”白云众表,笑笑解释。
带接受高端制造技术知识注入新亲参与,两月制造台光刻机算什。
专机床设备,哪两月!
像专门制造光刻机ASML,卖几十百台光刻机。
两月台?
慢产速度,早破产倒闭!
光刻掩膜板早做,白云、李莲亲做,达钢铁城技术极限。
掩膜并非,套。
光刻工序达百漫长加工程,工序,极微改变。逐步刻蚀掉需加工部位光刻胶,通沉积、离注入等方式,硅晶元基片需元器件、连线等部件。
因此整程支离破碎,每次光刻针工序,经由数百工序,才制造包含晶体管、电阻、电容等各元器件裸晶片。
由工序漫长,每工序掩膜必须严格准,误差超几纳米。否则错位,导致沉积、注入正确位置,制造失败。
知,掩膜版精度求高。
制掩膜版,众星星点点点、纵横交错细线,根本知终电路怎。
工序此长,马结果。
研究员虽很奇,别研究工做,白云宣布光刻机研功,研制团队解散,回本岗位,继续完交代研究工。
月,白云、李莲等穿身连套防护服,眼张亮晶晶晶圆片完工序,翼翼摆放。
裸晶片,需经切割、封装,才众平常见芯片。
知众期待次试制完,闻讯研究员放头工,聚。等级较高研究员穿连套防护服,进实验室,其则站玻璃墙外,奇白云托晶圆片。
“白,什集电路?”名实验室副主任奇问。
“款处理器!”白云继续保密,笑呵呵解谜底。
“处理器!”
听眼睛亮,性格沉稳研究员,竟骚。
“难研计算机,处理器?”几位资格进入实验室主任、副主任激,忍住七嘴八舌问。
处理器啊!
内搞几十集电路,始紧跟外步伐,早七十代,仿制英特尔8080,此核,研产长城050微机。
管8080,长城050,仿制设计。
,处理器块,内任何拿绩。
识士焦虑,呼吁研芯。喊声再,内依设计款处理器,更遑论制造。
迄今止,产处理器依片空白!
咋听白云钢铁城制光刻机,制造批集电路品,处理器,激制。
肯定设计处理器,做,极功!
“白,什处理器?奔腾,486?”旁边位副主任,话声音颤抖。
“!”白云极,逗趣耸耸肩笑。
露失望表。
根本敢奢望制光刻机,制造新款奔腾,够做早期奔腾处理器已经足让兴奋已。
若,486将。
连486做,光刻机制造什。
“,饭口口吃,关系,做86错。经验,慢慢改进,将光刻机制造精度提,奔腾,未奔腾梦……”位副主任勉强笑,安慰。
白云装,欢畅笑:“亲主持项目,怎造台制造86光刻机!告诉,制光刻机,线宽达0.1微米!它造枚晶片,集度600万,比英特尔新款奔腾Pro高五十五万晶体管!”
“哇!”
“吧!”
“制光刻机,线宽竟比英特尔细,怎?”
话经由通话器,传实验室外,听副震惊表,认定错。
习惯跟背亦步亦趋,已经卑信,完全敢相信,做达、甚至超欧集电路。
“等等,白,您刚才枚处理器集度600万,它肯定奔腾Pro,它什芯片?”白云话漏洞,立即叫。
其听,迅速反应。
白云,枚处理器芯片,它集度600万,比奔腾PRO超筹。
奔腾PRO新款、先进处理器,哪什集度达600万巨处理器!
定玩笑。
脸松,,知怎,隐隐遗憾。
果真,该啊……
白云微笑,目光透护目罩,众脸,直环视圈,才放低音量,轻声“它奔腾Pro,它设计华芯号……”
等完,实验室内外已经片沸腾,涨红脸,拼命什。
各声音混杂,谁听清方什。
停嘴,尽力气,拼命撕扯其僚衣服、臂,向白云什。
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白云身边,主任、副主任身体晃,支撑住,努力相互搀扶,颤声向询问:“白,真设计处理器?”
“!”白云笑容敛,严肃回答。
“真?”
“真!”
“您骗,它真设计研款产处理器?”
“骗!”
白云表未严肃,点笑容。
身,几曾内研究待半辈老研究员,忽失声痛哭。
“终,终!”
“辈,白活!”
“够,够,让死,遗憾……”
望痛哭流涕老研究员,玻璃墙外吵杂研究员渐渐安静。
脸,眼泪纵横。(未完待续)