280章 检验 （）
头，类似双拥、军民共建单位啥正规档案，倒各路部队三產蓬勃展蒸蒸，由於代缘故，类部队三產单位安置退役官兵主力，比联航明显例。
远嘉某程度真部队三產属性，预备役角度搞民兵团编製绝符合政策，般民兵预算归方、武部、企业三协商解决，装备由军区调整或武部购买，装备范围共役制式装备。
，靠山吃山靠水吃水条定理裡依管，比靠近北方边境民兵师由於靠近坦克厂装备役五轮。
1000搞东西少，翁承基代入靠啥吃啥定律，翁承基目知1000研计划言，旦新装备问世敢装备连帮忙做定型测试肯定问题，远嘉安保员本素质流，果装备流拿比武玩似。
几话间机场叉车叉著罩著军绿色偽装网箱贝尔法斯特宽尾门裡慢慢驶，机械化业，十吨轻水卸载速度极快，十五分鐘，接货卡车驶离机场。
此科技园已经进入外松内紧状态，由於1000缘故，况於已经见识广科技园员工算什麼异常。
港基集电试车间已经粗糙改造台设备，打算直接梁远法进验证。
候火炬计划处，别5微米线宽落伍，港基集电已经彻底吃透整条技术线环节。
晶圆丢水裡光刻似简单，已经涉及光刻机光源功率调整工台运速率间协调，未台高精度光刻机安装调整测试码需间，虽海外故设卡工效率高缘故，足明玩究竟麻烦。
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若彻底吃透技术光点调整束策，果依赖海外技术员丢水裡光刻秘密压根法保密。
白间，经审核靠技术组已经立，晶片试环节果互联网代法形容约删档公测类似，除量保持随整改外，批量產什麼本质区别。
次试港基集电抽调条已经正常运5微米產线，临玻璃做装载轻水容器放工台，技术佬三组阵带著十技术员调整光刻机功率，由於需批量產缘故，较麻烦工台运速率调整。
略装轻水设备除尘等环节提，东西拉科技园梁远已经校回双胞胎先食堂吃晚饭，回科技园始进车间“消毒”步骤。
由於次实验环境求相高缘故，梁远双胞胎穿顶级防尘服，带密封玻璃护目镜整头罩脑袋扣呼吸被器材滤。
套除尘流程足足花掉接近，梁远三才被允许进入实验车间。
港基集电產车间普遍选择米色基调，连设备涂装米色色系，周围环境深浅已。
两丫头梁远搞东西极度奇，翼翼跟梁远身，眼神灵。
由於实验缘故，车间裡群物料车已经停掉，剩台孤零零白色光刻机停车间侧。
“远，次晶片怎麼產”
由於採全密封服装缘故，梁远头套耳机裡声音失真，分究竟哪丫头话。
“光刻机產原理照相类似属於短暂曝光啊，被类见曝光度怎麼產晶片”
梁远笑著回句。
问话寧婉嘉点思吐吐舌，因防尘头套缘故见。
“少，準备，始实验”
梁远吃饭消毒段功夫，王欣等已经轻水灌进工台容器，晶圆涂光刻胶放进轻水。
目港基集电使光刻胶，虽针防水属性进优化设计，光刻胶原料属性属於树脂本身具备定防水特性。
光刻显影工序本身需纯水冲洗显影液，因此选遇水溶解光分解型光刻胶，短暂实验性產光刻胶应该影响晶片终品，，技术佬三组理论预，终何需实际验证。
“，始吧。”
“少按啟按钮吧。”
“，，谁离近谁按，点急，裡凑热闹。”
终，站光刻机旁边聂晓按设备工健。
港基集电目光刻机概七八立方米，设备近似於超黑箱，晶片曝光程肉眼根本见，设备工更什麼声响，虽晶片航类尖端科技，论视觉效果两者简直差别。
由於需整晶圆积全部產利，光刻机曝光十次停止工，电机推工台缓缓光刻机退，始晶圆向续工艺推送。
曝光显影，显影坚膜，再工艺进入检测程序，步工艺晶圆显影结果进检测，合格晶圆进入续刻蚀等流程，合格晶圆清洗进入初流程重新。
於实验室眾，检测步几乎足够判定新方法死，电显微镜与目瞭。
梁远啥懂，著王欣坐检测设备通电显微镜观察著刚刚炉久晶圆。