259章 突破14nm光刻机工艺
华达九兴师众招聘启并引业界轰，因eda盘实太。
2021，全球半导体产业销售额达5188亿元，芯片基础eda产业却区区70亿元左右，简直令难置信。
eda销售额70亿元，更连1%占。
况，外巨头根本懒关eda展况。
算再折腾怎？
且话回，知任何eda软件市场挂钩，eda游厂商、设计厂商、制造厂商、封测厂商合产物，任何环节落或缺失，eda工具影响。
举简单例，外先进eda软件设计、仿真、验证5nm甚至3nm芯片，内eda呢？目徘徊28nm左右，差距像球月球远。
外eda企业际，eda软件，隔三十，再次扬帆。
……
4月18号午九点，海贸区张东路1525号。
海微电装备限公司（smee）部，星微电装备股份限公司（xhzz）研基设立。
此，单层积超5000平方米型实验室，数身穿白色尘服研究员正忙碌，很类机器由穿梭其，带给科幻片场视觉冲击！
，实验室挑高二层参观台涌群，老青。
被众簇拥三分别gwy考察调研首长，smee董长孙立群及陈序。
孙立群介绍：“机器全部星海科技研制造特工业机器……
光源系统、摄像光系统、调焦扫描系统、视频采集系统监测软件等等，由星海科技独研，并且拥全部知识产权……”
“啊！难怪网星海科技未星。”
陪超陈序，谦虚：“l奖，很足步。”
首长亲切拍拍肩膀，顺参观台设立透明甬朝走，边走边，问：“目主哪困难呢？”
“主机械精度方待提高…它两步运工件台，载底片，载胶片，两者需始终步，误差2nm，两工台由静，加速度跟导弹射差……”
孙立群抢介绍番，首长转头问右侧陈序，“陈估计长间研制功？”
陈序组织语言：“果切顺利话，概今底吧！”
完陈序跟：“因次做经验，再加关键性零部件被卡脖，通主研。等7nm应该很轻松。”
首长闻言讶异：“7nm？”
孙立群再次抢介绍：“l您听错，正7nm。
星海研14nm及10nm布局7nm，且7nm技术跟外稍稍……”
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首长听完点点头，再次伸拍拍陈序臂，“嗯，！”
陈序被夸思，呵呵笑话。
，考察调研领导及随员乘坐考斯特离，陈序回办公室直接瘫坐沙，：“感觉比做十实验累。”
跟进星微电负责张海春，笑呵呵：“般搞术，怎喜欢场合，等习惯应该。”
张海春光刻机领域牛级物，曾先asml及台积电工，甚至被smee聘请高级工程师，因某原因离职。
际术圈位比周东林牛掰。
“呵呵，许吧。”陈序坐点根烟，“超精密工件台实验怎？”
“怎理，目实验5nm，距离求2nm定差距，德跟苯边……”
陈序听，香烟摁灭，身：“走，带。”
光刻机别设备，它部分零部件需专门定制。
什思呢，市场买配件组装。
越高端定制比例越高，10nm级别，90%定制。
且定制定制，游厂商愿愿接订单。
花高价荷兰买配件，因配件果全部产话，先短间产，算做，价格贵十倍止！
，欧韩星海进全技术封锁，荷兰边已经pass掉xhzz订单申请。
仅仅荷兰，德跟苯边零部件订单毁约，导致关键超精密工件台直达满求。
实验室，陈序控制机器调校超精密工件台，白则根据电脑反馈结果重新编写控制程序。
遍、两遍、十遍……
做十二，饿实撑住才吃点，继续全身投入实验。
超精密机械调校非常耗费间精力，像米cymer、德蔡司工程师每部件调校次数高达十。
，陈序像工程师，花费十调校零部件，需。
白帮省百分九十九步骤。
半月，经陈序废寝忘食工，超精密工件台精度调校3nm。
具程碑纪念义刻！
因3nm超精密工件台已经满足14nm光刻机制备工艺求。
刻，算全掌握14nm光刻机制造技术。
百名工程师全部围，模拟机超精密工件台高速运，很眼睛泛泪花。
偌实验室响热烈掌声。
“啪啪啪……”
少，直嚷制造“芯”，因造尖端光刻机，梦停留幻。
机械、通讯设备、企业金融、航空航等核领域，量采外芯片。
众周知，芯片门，且非常容易。
危险拔电池，通芯片门、信息别轻易获取，且知。
举简单例，智机般装gps芯片，即使关机定位。
张海春博士电脑运数据，膀激：“啊…！实太！”
陈序带笑容：“差点！差极限，达10nm制备工艺，硬件办法。”
“已经非常厉害……”
场工程师崇拜眼神陈序。
很快smee董长孙立群，及鲁嘉荣博士闻讯赶，运数据兴奋恨舞足蹈。
“实太！”孙立群朝实验室门口跑，打电话给级部门报喜。
鲁嘉荣博士激眼泪，紧紧搂陈序肩膀，模拟机高速运转工件台，语伦次：“陈工………啊……”