四百十五章 找

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光刻技术分步骤,首先气相底膜,硅片清洗、烘培首先通浸泡、喷雾或化气相沉积等工艺。

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旋转涂胶,底膜硅片表均匀覆盖光刻胶,此硅片被放置真空吸盘,吸盘底部与转电机相连,硅片静止或旋转非常缓慢,光刻胶被分滴硅片,随加速硅片旋转转速,光刻胶借助离伸展硅片表,并持续旋转甩光刻胶,硅片均匀光刻胶胶膜覆盖层,旋转溶剂挥,光刻胶膜几乎干燥停止。

软烘,涂完光刻胶,需硅片进软烘,除光刻胶残余溶剂,提高光刻胶粘附性均匀性。未经软烘光刻胶易粘并受颗粒污染,粘附力足,因溶剂含量高导致显影溶解差异,难区分曝光未曝光光刻胶。

曝光,硅片表石英掩模准并聚焦,使紫外光照射,未受掩模遮挡部分光刻胶曝光反应,实电路图掩模硅片转移。

显影,使显影液溶解由曝光造光刻胶溶解区域,使见图形硅片,并区分需刻蚀区域受光刻胶保护区域。显影完旋转甩掉余显影液,并高纯水清洗甩干。

坚膜,显影热烘叫做坚膜烘培,温度比软烘更高,目掉剩余溶剂使光刻胶变硬,提高光刻胶硅片表粘附性,光刻胶稳固,刻蚀等程非常关键。

坚模刻蚀项工艺非常重或物理方法选择硅片表材料程,通刻蚀硅片构建预器件。

胶,刻蚀完,通特定溶剂,洗硅片表残余光刻胶,此芯片基本!”

呈贤台光刻机原理讲非常清楚,让周明耳目感觉。

“果厉害,刻纹机结构,怪细节方法比呀!”

,周明教授认真理,强,承认欺欺承认,态度永远进步。

“海军志,接触产线长,何改进方法吗?”

周明王海军问

王海军听脑袋晃跟拨浪鼓

方法?方法神仙!”

“周教授,任何方法,甚至连光刻机呀!”

王海军实话实

“嗯,方法,设备弄明白,或许忙!”

周明

“谁?周教授!”

刘琅赶忙问,其亮。

“二十设备研制组,帮老!”

周明打电话。

“老谢呀!周明呀!”

周明打通电话已经耽误间,方太忙,找数次方打

“老周,………老周,华夏课怎沪市?”

方笑

刘琅旁边,知方叫做谢喜德,三晶体管厂工程师,晶体管厂万块晶体管,产收音机晶体管产品,位谢喜德周明教授五十代初期外回半导体专,两二十老朋友

“老谢呀!沪市产业园区嘛,沪市筹备!”

周明回答。

“哼,沪市立电产业园区?怎沪市?首差吧?”

谢喜德听顿语气

“呵呵,老谢呀!决定,,再,沪市首,华夏老师吗?”

周明笑

………急找?”

邀请沪市!”

周明

解?闷头闷脑,花花肠少,帮忙吧?”

闷头闷脑,聪明绝顶!”

周明谢喜德非常客气。

间,堆活呢!!”

方回答。

“别呀!老谢,台岛制造晶圆产线,!”

周明

呸!产线套设备,先提,结果硬………江南线电厂给抢,结果怎东西,白白浪费资金,……!”

刘琅旁听笑,周明跟,五引进套设备候曾经企业,首三晶体管厂做半导体企业,希望引进台具世界先进水平产线,套设备太贵,价值数千万元,虽给予补贴,企业花费超亿元资金,笔钱太,光靠企业法完政府帮忙。

笔钱,反倒苏省拿笔钱产线买江南线电厂虽套设备够真正操市场停工,王海军等几月月维护,套设备恐怕报废

产业布局规划,套设备弄明白先买,买回使刘琅产业园区概念。

让谢喜德直耿耿怀,

“老谢,?”

周明问

!”

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