二百四十三章 超紫外激光！波长1.5nm！功率2000w！（1）
北方清晨亮抹阳光，长春光机实验室，场激实验，终始。
激光器始预热，全套光刻机台核部件，由科光电院设计制造。
激光光源射，首先进入光束矫正器，矫正器共三组，调整光束入射方向，让激光束尽量保持平。
调整完毕平激光，进入量控制器。
顾名思义，量控制器调节激光功率存，控制终照射硅片量。
像芯片高精密制造业，论曝光足或者足，严重影响片质量，量必须收严格控制。
量控制器，光束形状设置器，它设置光束形态，呈圆型，环型，散射型等等形状，形态激光，光特性。
光束形状设置器尾部，组遮光器，需曝光候，遮光器光束拦，防止光束照射硅片。
再量探测器，东西主检测光束功率，它法单独使，将检测信号回馈给量控制器，配合量控制器进功率调整。
调整完毕激光束，穿掩模版，进入物镜。
掩膜版叫光罩，简单呢，它块内部刻线路设计图玻璃板，给硅片曝光，什半导体设计线路，定制什掩膜版。
掩膜版价格精度正比，内海凸版，锡华润，微，深圳清逸，路维，十三，五十五，化等等，做东西。
目，华夏已经基础型掩膜版价格，砸白菜价，帝微电2um光刻板，千两百块，南京55千百块，精度1um板五千块，锡华润略贵，两千块步，板做确实漂亮。
精度达纳米级别板，相昂贵，根据业内消息，苹果公司给旗m1型处理器定制掩膜版，造价高达百万元。
掩膜版方，名掩膜台机械装置，它承载掩模版进运，控制精度纳米级，达苛刻精确控制求，长春光机昆仑集团采购高精度极光电机。
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套机台，其实很技术产品，昆仑集团，重部分，必须掩膜台方，巨极端精密物镜。
物镜由三十块镜片组，主掩膜版电路图，按照比例缩，再激光映射硅晶圆，并且物镜主补偿各光误差，控制曝光精度。
毫夸张，物镜光刻机脏，果物镜技术关，哪怕掩膜技术差点，光源功率弱，终错结果。
果物镜技术，其系统算造再，任何。
毕竟光刻机本质，套光系统。
很解半导体业，往往其误解，真正芯片制造流程，激光透物镜硅片曝光，机器物理雕刻。
高原目光扫硕物镜候，嘴角轻轻扬抹弧度，信满满。
套物镜系统猪蹄馈赠，绝三十片打磨玻璃拼接简单，除精度，它强功率补偿机制，容错机制。
，激光通物镜，功率定程度提升，精度方，则做限接近完程度。
很牛逼很强思，外挂物镜，效果杠杠。
物镜，测量台曝光台，老式光刻机需先测量，再曝光，双工台系统，则实片硅片曝光，另片硅片进测量校准，工效率提高倍。
目世界，荷兰asml掌握双工台技术，长春机台果量产话，将世界二名。
整套机台底部，内部封闭框架减振器，它负责将工台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振干扰，并维持恒定温度压力。
点极其重，毕竟制造高精密芯片，哪怕微震，粒尘埃，或者空气温度湿度差别，导致硅片曝光失败，或者两批芯片性致。
台完整光刻机，体。
听简单，其实却类历史复杂精密机台，。
放眼全球，做紫外，asml，佳，尼康三，做极紫外，则荷兰asml，其余竞争，全部惨遭淘汰，消失历史长河。
“始！”
长春光机长叫杜维明，随声令，全封闭绝尘实验室，光刻机始运，概十几秒钟，片十二寸硅晶圆被送机台。
其实，光刻机工速度很快，每片两百张，完全存任何问题。
制约产主沉积设备，PVDCVD类，其次刻蚀设备包括ICP，CCP，DIE几机台，另外热处理设备工效率十分感。
条月产万片十二寸晶圆fab制造线，光刻机或许四五台，刻蚀机，却码六十台步，果追求高效率，甚至堆百台刻蚀机。
目，微半导体介质刻蚀技术，硅通孔刻蚀技术，位列全球三，全球牛半导体代工厂台积电，产线百千台微刻蚀机，算产半导体业比较争气存。
“！”
“次片功，比预顺利！”
“愧昆仑集团啊，临加进光系统，竟旧机台配合！”
实验室，穿全套尘服工程师，取十二寸硅晶圆，仔细，密密麻麻，比繁杂线条，灯光亮晶晶，甚喜。