429章 欣喜:单晶硅棒突破
“品!”
“纯度11N!”
9月20午十点钟,沐阳正办公室资料,突收硅厂(晶圆厂)消息,直凝视资料毫波澜脸荡漾喜悦。
适集电路业半导体硅片产品质量极高求,纯度必须达 99.9999999%(9 9,简称9N),先进工艺则需达 99.999999999%(11 9,即11N)。
口求,般达9N。
产硅棒,达11N,产极稳定,本高许。
沐阳求,稳定达12N,且产本太高。
硅棒指标止纯度,结晶构造、平坦度等,满足电阻率、碳残余量、厚度、翘曲度、表金属残余量等各类参数指标求。
纯度核,尺寸本,片,错。
“,。”
沐阳放资料,喊司机准备车。
硅厂部基边,星海集团2号工业园区,即阳富区工业园区。
三分钟,沐阳坐未01,向硅厂方向驶。
半,沐阳实验车间,换白色尘服装熟胶套,戴口罩,全身严实,留双眼睛。
入口处按指纹,验证脸,才真正进入实验车间。
九月份气非常炎热,车间恒温车间,温度二十摄氏度,,穿身包裹严实衣服,难受。
算此,沐阳感习惯,特别几戴口罩,感受呼吸很顺畅。
世,戴口罩戴习惯,摘感觉儿,耳朵根被勒疼已。
走车间,认沐阳。
路位员工佩戴员工牌,衣服背名字标识,赶紧走回挡住:“,请问哪位?怎进?什佩戴员工牌?”
候,沐阳才,气,反笑笑,,眼位员工笑。
“问呢?否则报警!”
“,沐阳。”沐阳摘口罩,露笑脸,重新戴口罩。
,眼位轻员工恐慌,向沐阳深深鞠躬:“啊,您董长,认,,!”
“,做很,警惕性很高,路几,注点。底问题,制标牌。”沐阳挥挥笑。
“谢谢董长,真认。”
“,忙吧。”
“,拜拜。”完,员工快步离,感觉太尴尬,幸董长,表扬。
沐阳台XH1200型单晶炉,此七八位员工正设备外围交流,沐阳,员工认。
技术经理向海,见沐阳次,知沐阳,通身材眼神认,走打招呼:
“董长,您。”
向海喊,其员工血压瞬间飙升,眼位竟董长!
“嗯,具体况。”沐阳点头。
向海:“眼台设备,昨始试制品,理论熔料量达1200公斤,放1000公斤。
设备拉制12英寸14英寸单晶硅棒,目正产12英寸硅棒,尝试全长度尺寸怎。
昨,试制两根米长度单晶硅棒,测试结果,各指标达高端机芯片硅材料求,产效率比常规每提拉10厘米快倍左右。
,离制定求,差距,少瑕疵,比硅纯度达11N,管怎调试,达12N,正找原因,找。”
星海集团目使硅精练方法提拉法。
先熔化 Si放石墨坩埚,使感应法加热,放石英容器,通纯氢气体清洁氛围。再籽晶放垂直棒端,再放入熔化 Si。
因籽晶表吸附熔化物,垂直棒断缓慢旋转提拉程,长直径比籽晶体材料晶体。
点像两根快插入盛满条锅,快夹紧几根像“籽晶”,吸附锅其它条,随快旋转,提升,越越条被卷入快。
且,被卷入条排布比较整齐,其实提拉法利旋转重力,够均匀分布熔化硅,通轴(快)旋转,控制硅温度几何构性均匀性。
沐阳:“先带试制品。”
向海点头,走根未切割单晶硅棒,长度约米,外径12英寸,根硅棒,百公斤。
沐阳蹲观察,抚摸硅棒表,赞:“外径直线度错,直径均匀,,米长已,拉完炉千公斤,理论拉四五米长。”
沐阳检查完根未切割单晶硅棒,再检查另根已经切割硅棒品,已经切割半。
单晶硅棒先线切割机两端锥形料头切割掉,果硅棒很长分段,否则太重搬加工,车外圆,再真正切片机切晶圆片。
切片机切片,效率快许,切割平度更,容易碎,果线切割,比较粗糙。
刚切晶圆片厚度毫米,继续打磨、研磨,直符合设计厚度求。
切片厚度主材料韧性况切片机性,果很容易切碎,切厚点,且直径越,切片难度越,12英寸切割厚度比8英寸肯定厚。
法,单晶硅韧性很差,实际脆性材料。
终芯片品厚度般0.3毫米,薄话达0.1厚米左右。
沐阳拿片晶圆片,外观,平度错。
“切割少片,切裂概率少?”
“试切割几十片,刚始切裂几片,切片机冷却系统搞,,切裂。”
“纯度11N?”
向海:“嗯,抽检9晶圆片,数据。”
沐阳点头,理解其难度,算每零部件按照图纸产,工艺按照做,设备组装肯定存误差,产环境影响,其它因素,终影响单晶硅纯度与其它性。
果达目况,确始尝试量产,即使离设计理论值差。
求,此基础,制造更芯片已,比高端机高端电脑芯片,纯度求高,再差达10N。
且,硅棒其它指标达世界顶尖水平。
,星海集团已经制造世界顶尖硅棒,接量产况。
“单晶棒代表性,许偶,期产品,检测收集数据。”
沐阳求,接,亲检查问题根源,氢气纯度流量、硅原材料、单晶炉工温度与湿度等等排除。
熟悉设备工艺流程,方实践经验,灌输技术程,脑给“熟悉经验”,与实际差异,需走遍,融合更。
脑:“。”
:“!”
理,沐阳实践,产肌肉记忆。
忙查什问题,午班间,吃午餐,休息,午继续投入其,查什问题。
“真怪!”
沐阳让实验室设备组装员再组装新设备,头组装,直产投入。
接几间,沐阳跟单晶硅棒产直接耗,期间亲组装调试设备。
庆放假两,组装套设备,进入设备调试,准备试产。
期间,早组装两套设备产单晶棒纯度11N。
沐阳重视设备耗、产效率,达预期目标,硅纯度达设计求。
9月30。
沐阳投入硅纯度工入魔,果新装设备达求,歇息段间,继续较劲。
阅读系统帮沐阳快速掌握知识,法帮分析问题,更帮查找问题根源。
新套设备,产单晶硅棒,经检测,纯度老,提升。
沐阳结果,皱眉:“怪,查问题。向经理,让先暂停吧,庆放假回再梳理思路。”
向海点头,,:“董长,加班,检查检查吧。”
沐阳摇头,叹口气:“况,通,算加班,许,跳进死胡。
够设备组装功,连续结晶功,品率其它指标达世界顶尖水平,已经算功,较劲。”
,排除操问题、原料问题、坩埚质量问题、热循环什问题,拉速,啥问题。
,找问题原因。
名测试工程师句:“董长,工业园区白电量比较,电流电压稳定,造功率翻跳变化,影响炉内温度稳?”
“嗯?等等,。”
名员工提醒,沐阳像搞明白原因,向位测试工程师:“提醒错,真电控问题,其它原因,检查电流电压表,稳压表,测量仪器,定厂弄错。”
仪器误差存很正常,比显示220V,定实际215V,般太计较点,单晶硅棒产,定影响。
很快,电气工程师排查电流电压稍微稳定,稳压表灵敏度调合适。
虽炉内温度符合求,高低,产影响。
“虽查稳压系统稳压表问题,它影响单晶硅棒纯度,知,等庆收假再试验吧。”
沐阳完,离实验车间。
实验车间二十几名研员董长离,再刚刚组装新设备,及试产。
位员工:“段间,董长够累,亲组装调试设备,真少见。”
向海:“单晶硅棒产公司非常重,芯片制造董长梦,梦。
产高端芯片够实,实话,整华,公司。
,已经产合格单晶硅棒,董长够满,达求,精益求精、勇攀高峰精神,值习,千万丁点绩,觉达世界骄傲满。
董长虽表扬,很压力,跟已,,亲调试设备,跟耗实验室,很闲呀。
段间,哪怕抛弃董长本身身份,操力,比强太,东西太。”
“嗯,董长力变态,听极少难问题。更佩服钻研精神。”
敬佩沐阳,再刚组装设备,硅纯度问题像根刺,卡喉咙,解决掉,踏实,太离实验室。
“问题解决,算放假,睡呀。”
“董长让加班呀。”
“,偷偷加班吧,加班费。”
“加班费问题嘛,公司缺给加班费。”
技术经理向海:“强迫加班,公司提倡加班,次假期愿原则,加班费,。弄加班被被批评。”
“批评直件吧,感觉找问题,却尝试验证结论,晚真睡呀。”
“试轮花费间很长,算产米长单晶硅棒,再切割,检测花间,两间肯定。”
向海听愿加班,:“吧,既见,果问题,吃晚餐,今晚继续搞。急,真。”
“什急,什比遇问题。”名研员笑。
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“呢,今晚陪朋友逛街电影吗?。”
“取消吧,其实爱片,正借口,哪搞科研激。”
“爱片呀,岂更激。”
几研员打趣,感觉轻松。
接两,研员始验证电流电压稳定产况。
五,10月8。
刚班久,沐阳再次硅棒实验车间,找向海,让始验证。
向海思:“董长,其实,已经验证。”
沐阳明白:“哦,验证?什候?”
完,概明白,严肃问,“庆期间,偷偷加班?”
名研员沐阳表,赶紧解释:“董长,怪向经理,求加班,晚实睡。”
沐阳笑:“怪,结果怎?”
,向海周围研员松口气,真怕董长骂顿。
向海:“产两根米长单晶硅棒,经验证测试,硅纯度稳定12N,确电流电压稳造。”
“,,达设计目标!正式准备量产工!”
沐阳闻言,十分高兴,“非常错,应该嘉奖。”