429章 欣喜:单晶硅棒突破

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!”

“纯度11N!”

9月20午十点钟,沐阳正办公室资料,突硅厂(晶圆厂)消息,直凝视资料毫波澜脸荡漾喜悦。

电路半导体硅片产品质量极高求,纯度必须达 99.9999999%(9 9,简称9N)先进工艺则需 99.999999999%(11 9,即11N)。

求,9N。

产硅棒,11N产极稳定,高许

沐阳求,稳定达12N,太高。

硅棒指标止纯度,结晶构造、平坦度等,满足电阻率、碳残余量、厚度、翘曲度、表金属残余量等各类参数指标求。

纯度,尺寸本,错。

。”

沐阳放资料,喊司机准备车。

硅厂部基边,星海集团2号工业园区,即阳富区工业园区。

三分钟,沐阳坐01,向硅厂方向驶

,沐阳实验车间,换白色尘服装熟胶套,戴口罩,全身严实,双眼睛。

入口处按指纹,验证脸,才真正进入实验车间。

九月份气非常炎热,车间恒温车间,温度二十摄氏度,,穿身包裹严实衣服,难受。

此,沐阳习惯,特别戴口罩,感受呼吸很顺畅。

世,戴口罩戴习惯感觉儿,耳朵根被勒已。

车间沐阳。

位员工佩戴员工牌,衣服背名字标识,赶紧走回挡住:“,请问哪位?怎佩戴员工牌?”

候,沐阳才气,反笑,,眼位员工笑。

“问呢?否则报警!”

沐阳。”沐阳摘口罩,露笑脸,重新戴口罩。

,眼轻员工恐慌,向沐阳深深鞠躬:“啊,您长,!”

,警惕性很高,点。问题,标牌。”沐阳挥挥

“谢谢董长,。”

忙吧。”

,拜拜。”员工快步离,感觉太尴尬,幸表扬

沐阳台XH1200型单晶炉,此七八位员工正设备外围交流,沐阳,员工

技术经理向海,见沐阳次,沐阳,通身材眼神认打招呼:

“董长,您。”

向海喊,其员工血压瞬间飙升,眼位竟长!

“嗯,具体况。”沐阳点头。

向海:“台设备,昨始试制品,理论熔料量达1200公斤,1000公斤。

设备拉制12英寸14英寸单晶硅棒,目12英寸硅棒,尝试全长度尺寸怎

试制两根米长度单晶硅棒,测试结果,各指标达高端机芯片硅材料求,产效率比常规提拉10厘米倍左右。

,离制定求,差距,瑕疵,比硅纯度达11N,管怎调试,12N,找原因,。”

星海集团目使硅精练方法提拉法。

熔化 Si放石墨坩埚,使感应法加热,石英容器,通纯氢气体清洁氛围。再籽晶放垂直棒端,再放入熔化 Si

籽晶表吸附熔化物,垂直棒断缓慢旋转提拉直径比籽晶体材料晶体。

点像两根快插入盛满,快夹紧几根“籽晶”,吸附锅其它条,随旋转,提升,越条被卷入快

且,被卷入条排布比较整齐,其实提拉法旋转重力够均匀分布熔化硅,轴(快旋转,控制硅温度几何构性均匀性。

沐阳:“先带试制品。”

向海点头,走根未切割单晶硅棒,长度约,外径12英寸,根硅棒,公斤。

沐阳蹲观察,抚摸硅棒表,赞:“外径直线度错,直径均匀,米长已,拉完千公斤,理论拉四五米长。”

沐阳检查完根未切割单晶硅棒,再检查另根已经切割硅棒品,已经切割半。

单晶硅棒线切割机两端锥形料头切割掉,果硅棒很长分段,否则太重加工,车外圆,真正切片机切晶圆片。

切片机切片,效率快许,切割平容易碎,线切割,比较粗糙。

刚切晶圆片厚度毫米,继续打磨、研磨,直符合设计厚度求。

切片厚度主材料韧性切片机果很容易切碎,切厚点,且直径越,切片难度越12英寸切割厚度比8英寸肯定

法,单晶硅韧性很差,实际脆性材料。

终芯片品厚度0.3毫米,薄0.1厚米左右。

沐阳拿片晶圆片,外观,平错。

切割少片,切裂概率少?”

试切割几十片,刚切裂几片,切片机冷却系统切裂。”

纯度11N?”

向海:“嗯,抽检9晶圆片,数据。”

沐阳点头,理解其难度,算每零部件按照图纸产,工艺按照做,设备组装肯定存误差,产环境影响,其它因素,影响单晶硅纯度与其它性

况,始尝试量产,即使离设计理论值

求,基础,制造更芯片已,比高端高端电脑芯片,纯度高,再差10N。

且,硅棒其它指标世界顶尖水平。

,星海集团已经制造世界顶尖硅棒量产

单晶棒代表性,品,检测收集数据。”

沐阳求,接检查问题根源,氢气纯度流量、硅原材料、单晶炉工温度与湿度等等排除。

熟悉设备工艺流程,实践经验,灌输技术“熟悉经验”,与实际差异,需遍,融合

:“。”

:“!”

,沐阳实践,肌肉记忆。

问题,间,吃午餐,休息午继续投入其问题。

“真!”

沐阳让实验室设备组装员再组装新设备,组装,直产投入。

间,沐阳跟单晶硅棒产直接耗,期间组装调试设备。

庆放假组装套设备,进入设备调试,准备试产。

期间,早组装两套设备单晶棒纯度11N。

沐阳重视设备耗、产效率,预期目标,硅纯度设计求。

9月30

沐阳投入硅纯度工入魔果新装设备求,歇息间,继续较劲。

阅读系统帮沐阳快速掌握知识,法帮分析问题,更查找问题根源。

套设备,单晶硅棒,经检测,纯度提升。

沐阳结果,皱眉:“怪问题。向经理,让先暂停吧,庆放假回再梳理思路。”

向海点头,:“董长,加班,检查检查吧。”

沐阳摇头,叹口气:“况,算加班跳进死胡

设备组装功,连续结晶功,品率其它指标世界顶尖水平,已经算较劲。”

排除问题、原料问题、坩埚质量问题、热循环问题,拉速啥问题。

,找问题原因。

名测试工程师句:“董长,工业园区白电量比较,电流电压稳定,功率翻跳变化,影响炉内温度稳?”

“嗯?等等,。”

名员工提醒,沐阳像搞明白原因,向位测试工程师:“提醒错,真电控问题,其它原因,检查电流电压表,稳压表,测量仪器,弄错。”

仪器误差存很正常,比显示220V,定实际215V,太计较单晶硅棒影响。

很快,电气工程师排查电流电压稍微稳定,稳压表灵敏度调合适。

炉内温度符合求,低,影响。

“虽稳压系统稳压表问题影响单晶硅棒纯度,,等庆收假再试验吧。”

沐阳实验车间。

实验车间二十几名研长离,再刚刚组装新设备,及试产。

位员工:“间,董够累组装调试设备,真少见。”

向海:“单晶硅棒公司非常重,芯片制造

产高端芯片够实实话,整公司

已经合格单晶硅棒,够满求,精益求精、勇攀高峰精神,值习,千万丁点绩,觉世界骄傲满。

长虽表扬压力,已,调试设备,跟实验室很闲呀。

间,哪怕抛弃董长本身身份,力,比强太东西太。”

“嗯,董变态,听极少问题。更佩服钻研精神。”

敬佩沐阳,再刚组装设备,硅纯度问题根刺,卡喉咙,解决掉,踏实,实验室。

问题解决,算放假呀。”

“董加班呀。”

偷偷加班吧,加班费。”

加班费问题嘛,公司缺给加班费。”

技术经理向海:“强迫加班,公司提倡加班,次假期愿原则,加班费,。弄加班被被批评。”

“批评吧,感觉找问题,却尝试验证结论,晚呀。”

“试轮花费间很长,米长单晶硅棒,再切割,检测间,两间肯定。”

向海听愿加班,:“吧,既见,问题,晚餐,今晚继续搞。,真。”

问题。”名研员笑

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呢,今晚朋友逛街电影吗?。”

“取消吧,其实片,借口,哪搞科研激。”

“爱呀,岂。”

打趣,感觉轻松

始验证电流电压稳定况。

,10月8

久,沐阳再次硅棒实验车间,找向海,让始验证。

向海:“董长,其实,已经验证。”

沐阳明白:“哦,验证?什?”

概明白,严肃问,“庆期间,偷偷加班?”

名研沐阳,赶紧解释:“董长,怪向经理,加班,晚。”

沐阳笑:“,结果怎?”

,向海周围员松口气,真怕董顿。

向海:“两根单晶硅棒,经验证测试,硅纯度稳定12N电流电压稳造。”

,达设计目标!正式准备量产工!”

沐阳闻言,十分高兴,“非常错,应该嘉奖。”

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